中国光学2021，Vol.14Issue(4)：998-1018,21.DOI:10.37188/CO.2021-0093
氮化硅光子器件与应用研究进展
Recent advances in silicon nitride-based photonic devices and applications
摘要
关键词
氮化硅/超构表面/光学薄膜/光栅耦合器/非线性光波导分类
数理科学引用本文复制引用
范智斌,陈泽茗,周鑫,何辛涛,江绍基,董建文..氮化硅光子器件与应用研究进展[J].中国光学,2021,14(4):998-1018,21.基金项目
国家自然科学基金(No.62035016,No.61805288,No.11904421) （No.62035016,No.61805288,No.11904421）
广东省基础与应用基础研究基金区域联合基金项目(No.2020A1515110661) （No.2020A1515110661）
