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带恒温控制与自校正的硅铝异质结构压力传感器研究

谢晓璐 张加宏 邢俊 王超 冒晓莉

传感技术学报2021，Vol.34Issue(6)：733-741,9.
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传感技术学报2021，Vol.34Issue(6)：733-741,9.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.06.004

带恒温控制与自校正的硅铝异质结构压力传感器研究

Research on Pressure Sensor Utilizing Aluminum-Silicon Hybrid Structures with Thermodynamic Control and Self-Calibration

谢晓璐 1张加宏 1邢俊 2王超 3冒晓莉1

作者信息

  • 1. 南京信息工程大学电子与信息工程学院,江苏 南京210044
  • 2. 南京信息工程大学,江苏省大气环境与装备技术协同创新中心,江苏 南京210044
  • 3. 南京信息工程大学,江苏省气象探测与信息处理重点实验室,江苏 南京210044
  • 折叠

摘要

关键词

硅铝异质结构/压阻放大效应/温度补偿/恒温控制系统/时间漂移/自校正

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢晓璐,张加宏,邢俊,王超,冒晓莉..带恒温控制与自校正的硅铝异质结构压力传感器研究[J].传感技术学报,2021,34(6):733-741,9.

基金项目

国家自然科学基金项目(41605120) （41605120）

江苏高校优势学科Ⅲ期建设工程项目(PAPD) （PAPD）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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