传感技术学报2021,Vol.34Issue(6):756-762,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.06.007
一种洛伦兹力微机械谐振磁传感器建模及数值仿真
Modeling and Numerical Simulation of a Lorentz force Micro-Machined Resonant Magnetic Sensor
摘要
关键词
磁传感器/锁相环/稳态平衡点/平均周期法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘恒,张玉,舒进华,杨添熠..一种洛伦兹力微机械谐振磁传感器建模及数值仿真[J].传感技术学报,2021,34(6):756-762,7.基金项目
国家重点研发计划课题项目(2019YFC1804704) (2019YFC1804704)
住房城乡建设部科学技术项目计划项目(2019-K-141) (2019-K-141)