电源技术2021，Vol.45Issue(8)：1034-1035,1039,3.DOI:10.3969/j.issn.1002-087X.2021.08.020
管式PECVD工艺对组件PID的影响研究
Research on influence of tubular PECVD process on PID of module
李景 1王贵梅 1王玉肖 1刘苗 1许志卫1
作者信息
- 1. 晶澳太阳能有限公司,河北邢台055550
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摘要
关键词
多晶硅/管式PECVD/PID/膜厚/折射率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李景,王贵梅,王玉肖,刘苗,许志卫..管式PECVD工艺对组件PID的影响研究[J].电源技术,2021,45(8):1034-1035,1039,3.
