自动化与信息工程2021，Vol.42Issue(4)：33-36,41,5.DOI:10.3969/j.issn.1674-2605.2021.04.008
扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准及不确定度评定
Calibration and Uncertainty Evaluation of Magnification Indication Error of Scanning Electron Microscope
摘要
关键词
扫描电子显微镜/格栅间距/放大倍数/示值误差/不确定度分类
通用工业技术引用本文复制引用
韩强,骆彬威,张欣宇..扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准及不确定度评定[J].自动化与信息工程,2021,42(4):33-36,41,5.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2018YFF02123404) （2018YFF02123404）
