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坩埚检测系统在80 L真空感应炉中的开发及应用研究

侯茸豪

机电信息Issue(22)：36-39,4.
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机电信息Issue(22)：36-39,4.

坩埚检测系统在80 L真空感应炉中的开发及应用研究

侯茸豪1

作者信息

  • 1. 爱力德欣安真空设备(苏州)有限公司上海分公司,上海201100
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摘要

关键词

真空感应炉/陶瓷坩埚/直流电阻/PLC/人机界面

引用本文复制引用

侯茸豪..坩埚检测系统在80 L真空感应炉中的开发及应用研究[J].机电信息,2021,(22):36-39,4.

机电信息

1671-0797

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