天津工业大学学报2021，Vol.40Issue(4)：84-88,5.DOI:10.3969/j.issn.1671-024x.2021.04.013
电容式微机械超声换能器的设计与仿真
Design and simulation of air-coupled CMUT
摘要
关键词
电容式微机械超声换能器(CMUT)/COMSOL有限元仿真/质量-弹簧模型/空耦传感器分类
通用工业技术引用本文复制引用
高铁成,远桂民,王昊..电容式微机械超声换能器的设计与仿真[J].天津工业大学学报,2021,40(4):84-88,5.基金项目
天津市企业科技特派员项目(18JCTPJC60100) （18JCTPJC60100）
天津市教委科研计划项目(2018KJ213) （2018KJ213）
