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重离子在碳化硅中的输运过程及能量损失

张鸿 郭红霞 潘霄宇 雷志峰 张凤祁 顾朝桥 柳奕天 琚安安 欧阳晓平

物理学报2021,Vol.70Issue(16):72-81,10.
物理学报2021,Vol.70Issue(16):72-81,10.DOI:10.7498/aps.70.20210503

重离子在碳化硅中的输运过程及能量损失

Transport process and energy loss of heavy ions in silicon carbide

张鸿 1郭红霞 1潘霄宇 2雷志峰 2张凤祁 3顾朝桥 2柳奕天 1琚安安 1欧阳晓平1

作者信息

  • 1. 湘潭大学材料科学与工程学院, 湘潭 411105
  • 2. 西北核技术研究所, 西安 710024
  • 3. 工业和信息化部电子第五研究所, 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室, 广州 510610
  • 折叠

摘要

关键词

蒙特卡罗方法/碳化硅/重离子/能量损失/电场

引用本文复制引用

张鸿,郭红霞,潘霄宇,雷志峰,张凤祁,顾朝桥,柳奕天,琚安安,欧阳晓平..重离子在碳化硅中的输运过程及能量损失[J].物理学报,2021,70(16):72-81,10.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:11875229)资助的课题. (批准号:11875229)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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