安庆师范大学学报（自然科学版）2021，Vol.27Issue(3)：1-7,7.DOI:10.13757/j.cnki.cn34-1328/n.2021.03.001
具有不同Al组分的非极性a面p型AlGaN外延层的生长及特性研究
Study on Growth and Properties of Non-polar a-plane p-AlGaN Epi-layers with Various Al Compositions
摘要
关键词
脉冲流量供给/非极性a面p-AlGaN/镁掺杂/表面形态/电阻率/空穴浓度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张雄,范艾杰,崔一平..具有不同Al组分的非极性a面p型AlGaN外延层的生长及特性研究[J].安庆师范大学学报（自然科学版）,2021,27(3):1-7,7.基金项目
国家自然科学基金重点项目(2018YFE0201000),国家自然科学基金面上项目(62005026,61804027)和江苏省自然科学基金面上项目(BK20191027,BK20180359) （2018YFE0201000）
