红外与毫米波学报2021，Vol.40Issue(4)：427-431,5.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2021.04.001
InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器光敏元蚀刻表面特性
Fabrication and characteristics of InAs/GaSb Type-Ⅱ superlattice infrared detector pixel mesas
摘要
关键词
二类超晶格/快速热退火/栅控结构/X射线光电子能谱分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
崔玉容,徐志成,黄敏,许佳佳,陈建新,何力..InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器光敏元蚀刻表面特性[J].红外与毫米波学报,2021,40(4):427-431,5.基金项目
国家重点研发计划(2016YFB0402403),国家自然科学基金(61974152,61904183,61534006),中国科学院青年创新促进会会员(2016219),上海市青年科技启明星项目(20QA141500). （2016YFB0402403）
