计量学报2021，Vol.42Issue(8)：977-985,9.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.08.01
高线性度的二维无耦合纳米压电位移系统设计
Design of a High Linearity Two-Dimensional Uncoupled Nanometer Piezoelectric Displacement System
摘要
关键词
计量学/纳米压电位移系统/二维无耦合/开环压电控制器/柔性铰链/有限元分析/干涉测量分类
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罗四维,乐燕芬,彭洋,吴俊杰,雷李华,张波,金涛..高线性度的二维无耦合纳米压电位移系统设计[J].计量学报,2021,42(8):977-985,9.基金项目
国家重点研发计划(2018YFF0109600) （2018YFF0109600）
国家自然科学基金(51705324) （51705324）
国家自然科学基金中德科学中心项目(GZ 1287) （GZ 1287）
