机电工程技术2021，Vol.50Issue(8)：138-141,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.08.039
基于气浮导轨的光栅尺动态检测系统设计与误差分析
Design and Error Analysis of Dynamic Detection System of Grating Rulers Based on Air-bearing Guideway
摘要
关键词
光栅尺/动态误差/气浮导轨/精度分析分类
机械制造引用本文复制引用
徐全坤,阚侃,黄振宇,罗旭东,梁平,张勇..基于气浮导轨的光栅尺动态检测系统设计与误差分析[J].机电工程技术,2021,50(8):138-141,4.基金项目
广东省科技计划项目(编号:2017B030314135) （编号:2017B030314135）
广东省市场监督管理局科技计划项目(编号:2016PJ01) （编号:2016PJ01）
