中国机械工程2021，Vol.32Issue(17)：2074-2081,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.17.008
硬质合金化学机械抛光工件-磨粒-抛光垫接触状态研究
Contact States of Workpiece-Abrasive Particles-Polishing Pad in Cemented Carbide CMP Processes
摘要
关键词
硬质合金/化学机械抛光/接触状态/压入深度/临界条件分类
矿业与冶金引用本文复制引用
毛美姣,许庆,刘静莉,袁巨龙,李敏,胡自化..硬质合金化学机械抛光工件-磨粒-抛光垫接触状态研究[J].中国机械工程,2021,32(17):2074-2081,8.基金项目
国家自然科学基金(U1809221) （U1809221）
湖南省重点研发计划(2017GK2050) （2017GK2050）
湖南省教育厅科学研究项目(19K094) （19K094）
