中国机械工程2021，Vol.32Issue(17)：2118-2124,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.17.013
微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究
Research on Hysteresis Compensation Method of MEMS Piezoelectric Vibratory Platforms
摘要
关键词
MEMS压电振动平台/压电迟滞模型/复合控制/加速度传感器自标定分类
机械制造引用本文复制引用
郝瑞,彭倍,周吴..微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究[J].中国机械工程,2021,32(17):2118-2124,7.基金项目
国家自然科学基金(52075082,51975107) （52075082,51975107）
四川省科技厅区域创新合作项目(2020YFQ0017) （2020YFQ0017）
