表面技术2021，Vol.50Issue(9)：169-175,7.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.09.017
Sn掺杂对SixSb100–x相变薄膜结晶行为的影响
Effects of Sn Doping on Crystallization Behavior of SixSb100–x Phase Change Films
杜玲玲 1周细应 1李晓 1周文华 1范志君1
作者信息
摘要
关键词
相变薄膜/电学特性/结晶温度/十年数据保持力/结晶行为/表面形貌分类
通用工业技术引用本文复制引用
杜玲玲,周细应,李晓,周文华,范志君..Sn掺杂对SixSb100–x相变薄膜结晶行为的影响[J].表面技术,2021,50(9):169-175,7.
