传感技术学报2021，Vol.34Issue(7)：853-858,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.07.001
基于柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性研究
Phase Characteristics Research on the Double-Clamped Beam RF MEMS Switch Based on Flexible Substrate
摘要
关键词
RF MEMS/双端固支梁/相位偏移量/衬底弯曲/相位特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
隋东辰,陈立军,韩磊..基于柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性研究[J].传感技术学报,2021,34(7):853-858,6.基金项目
国家自然科学基金项目(61774032) （61774032）
省级大学生创新创业训练计划项目(202010286051Y) （202010286051Y）
