光学精密工程2021，Vol.29Issue(8)：1759-1768,10.DOI:10.37188/OPE.20212908.1759
单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述
Review of monomeric large-size and high precision holographic planar grating manufacturing technology
摘要
关键词
全息平面光栅/扫描干涉光刻/条纹锁定/栅距/方向/相位控制分类
机械制造引用本文复制引用
王磊杰,张鸣,朱煜..单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述[J].光学精密工程,2021,29(8):1759-1768,10.基金项目
国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003) （No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003）
