光学精密工程2021，Vol.29Issue(8)：1795-1803,9.DOI:10.37188/OPE.20212908.1795
基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测
Polarized laser confocal technique for subsurface damage of lapped quartz glass
摘要
关键词
共聚焦成像/亚表面损伤/偏振激光散射/横截面显微法/石英玻璃分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
白倩,马浩,殷景飞..基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测[J].光学精密工程,2021,29(8):1795-1803,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52105453,No.51575084) （No.52105453,No.51575084）
中国博士后科学基金特别资助项目(No.2020TQ0149) （No.2020TQ0149）
