光学精密工程2021,Vol.29Issue(8):1839-1846,8.DOI:10.37188/OPE.20212908.1839
X射线聚焦镜的超精密制造
Ultra-precision manufacture of X-ray focusing mirror
摘要
关键词
X射线光学/Wolter聚焦望远镜/掠入射/电铸复制/超精密加工分类
化学化工引用本文复制引用
王波,杨彦佶,王殿龙,王浪平,李铎,乔政,丁飞,薛家岱,廖秋岩..X射线聚焦镜的超精密制造[J].光学精密工程,2021,29(8):1839-1846,8.基金项目
中国科学院战略性先导科技专项(No.XDA15020501-03) (No.XDA15020501-03)