人工晶体学报2021，Vol.50Issue(8)：1478-1484,7.
(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究
Structure and Transparent Conductive Properties of ( Ti/ZnO) N Compositionally Modulated Nano Multilayer Films
摘要
关键词
磁控溅射/(Ti/ZnO)N/调制周期数/透光率/电性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
牛犇,吴隽,王凯丰,黄成斌,付豪,祝柏林,李涛涛,姚亚刚..(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究[J].人工晶体学报,2021,50(8):1478-1484,7.基金项目
中国科学院苏州纳米技术与仿生研究所纳米器件与应用重点实验室项目(15QT02) （15QT02）
