人工晶体学报2021,Vol.50Issue(8):1541-1551,11.
直拉单晶炉加热系统的优化设计与分析
Optimal Design and Analysis of Heating System of Czochralski Single Crystal Furnace
摘要
关键词
单晶炉/加热系统/加热器/优化设计/能耗降低分类
化学化工引用本文复制引用
林光伟,王珊,张西亚,高俊伟,高德东..直拉单晶炉加热系统的优化设计与分析[J].人工晶体学报,2021,50(8):1541-1551,11.基金项目
高海拔环境下光伏电站组件质量评估及衰减机制研究(2019-ZJ-7002) (2019-ZJ-7002)
工业和信息化部2018年绿色制造系统集成项目(130) (130)