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CMP抛光用纳米氧化铝制备工艺研究

杨丛林 孙计赞 刘胜

陶瓷Issue(8)：35-36,2.
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陶瓷Issue(8)：35-36,2.

CMP抛光用纳米氧化铝制备工艺研究

杨丛林 1孙计赞 2刘胜2

作者信息

  • 1. 中铝山东有限公司 山东 淄博 255000
  • 2. 淄博海关 山东 淄博 255000
  • 折叠

摘要

关键词

无定型/纳米氧化铝/CMP抛光

分类

化学化工

引用本文复制引用

杨丛林,孙计赞,刘胜..CMP抛光用纳米氧化铝制备工艺研究[J].陶瓷,2021,(8):35-36,2.

陶瓷

1002-2872

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