太阳能Issue(9)：57-61,5.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20200618.01
管式PECVD设备的温控系统调节对镀膜均匀性的影响分析
INFLUENCE ANALYSIS OF TEMPERATURE CONTROL SYSTEM REGULATE OF TUBULAR PECVD EQUIPMENT ON COATING UNIFORMITY
张永 1王贵梅 1孟小玮 1邵海娇 1张建军1
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摘要
关键词
温控系统/加热时间/管式PECVD设备/镀膜均匀性分类
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张永,王贵梅,孟小玮,邵海娇,张建军..管式PECVD设备的温控系统调节对镀膜均匀性的影响分析[J].太阳能,2021,(9):57-61,5.
