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基于CEEMD主成分分析的测量误差补偿OA

Measurement Error Compensation Based on CEEMD Principal Component Analysis

中文摘要

对光栅尺测量系统中各种干扰因素进行了研究,提出了基于互补集合经验模态分解(CEEMD)主成分分析(PCA)的测量误差补偿方法,以提高光栅尺测量精度.对光测量误差进行CEEMD分解获取一系列固有模态分量(IMF),各分量进行PCA并计算主成分个数所对应IMF分量的贡献率,选取合适的IMF分量作为测量误差趋势以提高测量精度.从实验结果上看,所提出误差补偿方法的均方根误差为0.518μm,置信区间为(-0.099,0.0106),验证了这种方法的有效性和可行性.

李文剑

广东工业大学,广东广州 510006

信息技术与安全科学

互补集合经验模态分解主成分分析误差补偿

《现代信息科技》 2021 (10)

155-157,160,4

10.19850/j.cnki.2096-4706.2021.10.041

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