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化学机械磨削技术研究现状与展望

任莹晖周家恒李伟周志雄李陈方

中国机械工程2021，Vol.32Issue(18)：2143-2152,10.

中国机械工程2021，Vol.32Issue(18)：2143-2152,10.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.18.001

Research Status and Prospect of CMG Technology

任莹晖 ¹周家恒 ¹李伟 ¹周志雄 ¹李陈方¹

作者信息

化学机械磨削/硬脆材料/磨削机理/专用磨具

机械制造

任莹晖,周家恒,李伟,周志雄,李陈方..化学机械磨削技术研究现状与展望[J].中国机械工程,2021,32(18):2143-2152,10.

国家自然科学基金(51675170,51875192) （51675170,51875192）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-132X

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