测试技术学报2021，Vol.35Issue(5)：375-380,385,7.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2021.05.002
SiO2微悬臂梁制备及力学仿真
Fabrication of SiO2 Microcantilever and Its Mechanical Simulation
摘要
关键词
湿法腐蚀/SiO2微悬臂梁/模态频率/Von Mises应力/应力集中分类
机械制造引用本文复制引用
李梦一,许昌华..SiO2微悬臂梁制备及力学仿真[J].测试技术学报,2021,35(5):375-380,385,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11372269) （11372269）
