人工晶体学报2021，Vol.50Issue(9)：1681-1687,1722,8.
衬底温度对氧化锌薄膜微结构及光学性能的影响
Effect of Substrate Temperature on Microstructure and Optical Properties of ZnO Thin Films
摘要
关键词
ZnO薄膜/磁控溅射/衬底温度/光学性能/择优取向/结晶质量分类
通用工业技术引用本文复制引用
陈星辉,唐颖慧,王加强,柴晗阳,魏新琪,陈光伟..衬底温度对氧化锌薄膜微结构及光学性能的影响[J].人工晶体学报,2021,50(9):1681-1687,1722,8.基金项目
湖南省大学生创新创业训练计划项目(湘教通[2020]191-3062) （湘教通[2020]191-3062）
湖南省教育厅普通高校教学改革研究基金(湘教通[2019]291-579) （湘教通[2019]291-579）
