适用400 Gbit/s接收系统的铟磷基低暗电流高带宽倏逝波耦合光电探测器阵列OA北大核心CSCDCSTPCD
Low dark current and high bandwidth evanescent wave coupled PIN photodetector array for 400 Gbit/s receiving system
相较于面入射型和边入射型光电探测器,倏逝波耦合型光电探测器(evanescent coupling photodetector,ECPD)能够同时具备高带宽和高量子效率,因此在高速光通信领域有着广袤的应用前景.ECPD由稀释波导、单模脊波导和PIN光电二极管组成,通过倏逝波定向耦合提高光纤入射光到探测器吸收芯层的耦合效率.本文详细介绍了一种铟磷基ECPD阵列的结构设计、实验制备和测试结果.测试结果表明,制备的ECPD暗电流较低,在–3和0 V外加…查看全部>>
陆子晴;韩勤;叶焓;王帅;肖峰;肖帆
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049中国科学院大学电子电器与通信工程学院, 北京 100049中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
倏逝波耦合PIN探测器阵列低暗电流400 GHz
《物理学报》 2021 (20)
近红外单光子探测焦平面阵列及雪崩倍增机理研究
377-382,6
国家重点研发计划(批准号:2020YFB1805701)、国家自然科学基金(批准号:61934003,61635010,61674136)和北京市自然科学基金(批准号:4194093)资助的课题.
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