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nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx纳米复合薄膜的制备及性能研究

陈强 张而耕 周琼 黄彪 梁丹丹 韩生 李耀东

表面技术2021，Vol.50Issue(10)：230-238,9.
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表面技术2021，Vol.50Issue(10)：230-238,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.022

nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx纳米复合薄膜的制备及性能研究

Preparation and Properties of nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx Nanocomposite Films

陈强 1张而耕 1周琼 1黄彪 1梁丹丹 1韩生 2李耀东3

作者信息

  • 1. 上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418
  • 2. 上海应用技术大学 化学与环境工程学院,上海 201418
  • 3. 中国兵器工业集团第二O二研究所,陕西 咸阳 712099
  • 折叠

摘要

关键词

TiAlN涂层/阴极电弧/辉光放电/掺杂/复合膜/硬度/耐磨性/结合力

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

陈强,张而耕,周琼,黄彪,梁丹丹,韩生,李耀东..nc-(Ti,Al)(C,N)/a-SiNx纳米复合薄膜的制备及性能研究[J].表面技术,2021,50(10):230-238,9.

基金项目

上海应用技术大学中青年科技人才发展基金(ZQ2020-24) （ZQ2020-24）

国家自然科学基金(51971148) （51971148）

上海市自然科学基金(20ZR1455700) （20ZR1455700）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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