表面技术2021，Vol.50Issue(10)：263-269,7.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.026
氩气流量对非晶碳膜结构及力学和摩擦学性能的影响
Effects of Argon Flow on Structure, Mechanical and Tribological Properties of Amorphous Carbon Films
冯兴国 1郑军 1刘兴光 1郑玉刚 1周晖 1张延帅 1郑宇 1张凯锋 1汪科良 1杨拉毛草 1张宝荣 2赵志勇2
作者信息
- 1. 兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理国防科技重点实验室,兰州 730000
- 2. 山西柴油机工业有限责任公司,山西 大同 037000
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摘要
关键词
电弧离子镀/氩气流量/非晶碳膜/微观结构/硬度/摩擦学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
冯兴国,郑军,刘兴光,郑玉刚,周晖,张延帅,郑宇,张凯锋,汪科良,杨拉毛草,张宝荣,赵志勇..氩气流量对非晶碳膜结构及力学和摩擦学性能的影响[J].表面技术,2021,50(10):263-269,7.
