表面技术2021，Vol.50Issue(10)：353-362,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.037
基于磁控磨料定向的SiC固相芬顿反应研抛盘制备及性能研究
Study on the Preparation and Lapping Performance of SiC Solid-state Fenton Reaction Lapping-polishing Plates Based on Magnetically Controlled Abrasive Orientation
摘要
关键词
单晶SiC/磨料定向/固相芬顿反应/研抛盘/材料去除率/表面粗糙度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
路家斌,曾帅,阎秋生,熊强,邓家云..基于磁控磨料定向的SiC固相芬顿反应研抛盘制备及性能研究[J].表面技术,2021,50(10):353-362,10.基金项目
国家自然科学基金(52175385,52075102) （52175385,52075102）
NSFC-广东省联合基金(U1801259) （U1801259）
