机械与电子2021，Vol.39Issue(10)：32-36,5.
面向晶圆图的芯片定位方法
Chip Location Method for Wafer Map
杨东旭 1李宏军 1郝晓博 1吴立丰1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
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摘要
关键词
芯片定位/晶圆图/路径规划/LINE-2D分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨东旭,李宏军,郝晓博,吴立丰..面向晶圆图的芯片定位方法[J].机械与电子,2021,39(10):32-36,5.
