太阳能Issue(10)：46-51,6.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20200708.02
背表面氮化硅薄膜与氧化铝薄膜制备工艺对单晶硅双面太阳电池EL的影响
EFFECT ON EL OF PREPARATION PROCESS OF SiNx FILM AND Al2O3 FILM ON REAR SURFACE OF MONO-Si BIFACIAL SOLAR CELLS
张福庆 1王贵梅 1张军杰 1李文涛 1李景1
作者信息
摘要
关键词
单晶硅双面太阳电池/ALD设备/管式PECVD设备/退火/氧化铝薄膜/氮化硅薄膜/EL分类
能源科技引用本文复制引用
张福庆,王贵梅,张军杰,李文涛,李景..背表面氮化硅薄膜与氧化铝薄膜制备工艺对单晶硅双面太阳电池EL的影响[J].太阳能,2021,(10):46-51,6.
