硅酸盐学报2021，Vol.49Issue(9)：1970-1975,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20200837
射频磁控溅射制备高In组分Al1-xInxN薄膜及其光学性能
Growth and Optical Properties of In-rich Al1-xInxN Films by Radio-Frequency Magnetron Sputtering
摘要
关键词
铝铟氮薄膜/择优取向/光致发光/Burstein-Moss效应分类
数理科学引用本文复制引用
陈建金,齐东丽,刘俊,李想,宋健宇,沈龙海..射频磁控溅射制备高In组分Al1-xInxN薄膜及其光学性能[J].硅酸盐学报,2021,49(9):1970-1975,6.基金项目
辽宁省教育厅自然科学基金(LG201910). （LG201910）
