铜化学机械抛光的弱缓蚀剂研究

徐浩宋恩敏卞达赵永武

金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(5)：32-39,8.

金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(5)：32-39,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.5.0006

Investigation of weak corrosion inhibitor for copper chemical mechanical polishing

徐浩 ¹宋恩敏 ¹卞达 ¹赵永武²

作者信息

铜/弱缓蚀剂/聚乙烯吡咯烷酮/混合缓蚀剂

矿业与冶金

徐浩,宋恩敏,卞达,赵永武..铜化学机械抛光的弱缓蚀剂研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(5):32-39,8.

国家自然科学基金(51675232) （51675232）

江苏省自然科学基金(BK20190611). （BK20190611）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1006-852X

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