应用化学2021，Vol.38Issue(9)：1027-1028,2.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210412
《光刻胶材料》专辑序言——光刻胶材料助力"中国芯"
Preface to Special Issue "Photoresist Materials"——Photoresist Materials Facilitate the Production of "China-made Chips"
季生象1
作者信息
- 1. 中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院生态环境高分子材料重点实验室,长春 130022
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季生象..《光刻胶材料》专辑序言——光刻胶材料助力"中国芯"[J].应用化学,2021,38(9):1027-1028,2.
