应用化学2021，Vol.38Issue(9)：1029-1078,50.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210278
先进光刻技术:导向自组装
Advanced Lithography:Directed Self-Assembly
摘要
关键词
导向自组装/先进光刻技术/嵌段共聚物分类
化学化工引用本文复制引用
胡晓华,熊诗圣..先进光刻技术:导向自组装[J].应用化学,2021,38(9):1029-1078,50.基金项目
国家自然科学基金项目(No.61974030)资助 （No.61974030）
