应用化学2021，Vol.38Issue(9)：1079-1090,12.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210152
光刻胶成膜剂:发展与未来
Photoresist Film-Forming Agent:Development and Future
摘要
关键词
紫外光刻胶/深紫外光刻胶/极紫外光刻胶/化学增幅/分子玻璃分类
化学化工引用本文复制引用
朋小康,黄兴文,刘荣涛,张永文,张诗洋,刘屹东,闵永刚..光刻胶成膜剂:发展与未来[J].应用化学,2021,38(9):1079-1090,12.基金项目
广东省"珠江人才计划"引进创新创业团队项目(No.2016ZT06C412)资助 （No.2016ZT06C412）
