应用化学2021，Vol.38Issue(9)：1091-1104,14.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210265
g-线/i-线光刻胶研究进展
Research Progress on g-Line and i-Line Photoresists
摘要
关键词
光刻胶/g-线/i-线/酚醛树脂/重氮萘醌/化学放大胶/分子玻璃分类
化学化工引用本文复制引用
顾雪松,李小欧,刘亚栋,季生象..g-线/i-线光刻胶研究进展[J].应用化学,2021,38(9):1091-1104,14.基金项目
国家自然科学基金(No.51973212)和吉林省科技发展计划中青年科技创新领军人才及团队项目(No.20200301017RQ)资助 （No.51973212）
