应用化学2021，Vol.38Issue(9)：1119-1137,19.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210274
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展
Progress Research on Photosensitive Polyimide
摘要
关键词
光敏聚酰亚胺/光刻胶/再布线/集成电路/有机发光二极管显示/微机电系统图案化分类
化学化工引用本文复制引用
郭海泉,杨正华,高连勋..光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展[J].应用化学,2021,38(9):1119-1137,19.基金项目
国家重点研发计划(No.2017YFB0404700)资助 （No.2017YFB0404700）
