电子器件2021，Vol.44Issue(5)：1098-1103,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2021.05.013
新型电容式微机械超声波换能器(CMUT)设计及仿真分析
Design and Simulation Analysis of Novel Capacitive Micromechanical Ultrasonic Transducers
摘要
关键词
电容式微机械超声波换能器/有效距离/发射性能/接收性能/吸合现象分类
通用工业技术引用本文复制引用
宋金龙,郑欣怡,凤瑞,周铭,商兴莲..新型电容式微机械超声波换能器(CMUT)设计及仿真分析[J].电子器件,2021,44(5):1098-1103,6.基金项目
国家核心电子器件重大专项(2018ZX01012101-006) （2018ZX01012101-006）
