电磁式扫描光栅微镜设计

周颖黄云彪李东玲温泉

光学精密工程2021，Vol.29Issue(9)：2048-2057,10.

光学精密工程2021，Vol.29Issue(9)：2048-2057,10.DOI:10.37188/OPE.20212909.2048

Design of electromagnetic scanning grating micromirror

周颖 ¹黄云彪 ¹李东玲 ²温泉²

作者信息

微纳器件/扫描光栅微镜/电磁式/角传感器/近红外

信息技术与安全科学

周颖,黄云彪,李东玲,温泉..电磁式扫描光栅微镜设计[J].光学精密工程,2021,29(9):2048-2057,10.

国家重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011200) （No.2018YFF01011200）

OA北大核心CSCD

ISSN：1004-924X

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