光学精密工程2021，Vol.29Issue(9)：2101-2107,7.DOI:10.37188/OPE.20212909.2101
中空双螺旋微机器人的飞秒激光动态全息高效加工
Rapid fabrication of hollow double helix microrobot using femtosecond laser dynamic holograpic method
摘要
关键词
激光加工/飞秒激光/贝塞尔光束叠加干涉/动态全息加工/中空双螺旋微机器人分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋博文,李家文..中空双螺旋微机器人的飞秒激光动态全息高效加工[J].光学精密工程,2021,29(9):2101-2107,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52075516,No.51675503,No.61475149,No.51405464,No.61675190,No.51605463) （No.52075516,No.51675503,No.61475149,No.51405464,No.61675190,No.51605463）
中央高校基本研究经费(No.WK2480000002) （No.WK2480000002）
中国博士后科学基金资助项目(No.2016M590578,2016M602027) （No.2016M590578,2016M602027）
中科院仪器研制项目(No.YZ201566) （No.YZ201566）
