|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|计量学报|微机电系统微摩擦测试技术研究

微机电系统微摩擦测试技术研究

吴翠红 于博 赵晶 刘效含 吴欣宇

计量学报2021，Vol.42Issue(10)：1288-1293,6.
✕
计量学报2021，Vol.42Issue(10)：1288-1293,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.10.05

微机电系统微摩擦测试技术研究

Research on Micro Friction Testing Technology of Micro-electro-mechanical System

吴翠红 1于博 2赵晶 1刘效含 1吴欣宇1

作者信息

  • 1. 长春理工大学光电信息学院机电工程学院,吉林长春130012
  • 2. 长春工程学院机电工程学院,吉林长春130012
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/微摩擦/微机电系统/测试技术/光反射/计量标定

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

吴翠红,于博,赵晶,刘效含,吴欣宇..微机电系统微摩擦测试技术研究[J].计量学报,2021,42(10):1288-1293,6.

基金项目

吉林省教育厅"十三五"科学技术项目(JJKH20191248KJ) （JJKH20191248KJ）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

访问量10
|
下载量0
段落导航相关论文