中国光学2021，Vol.14Issue(5)：1104-1119,16.DOI:10.37188/CO.2021-0033
先进光刻中的聚焦控制预算(I)-光路部分
Budget analysis of focus control in advanced lithography (I) -optical path
摘要
关键词
聚焦控制/光刻/预算/最佳焦点/聚焦深度/工艺窗口分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
钟志坚,李琛毅,李世光,郭磊,韦亚一..先进光刻中的聚焦控制预算(I)-光路部分[J].中国光学,2021,14(5):1104-1119,16.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No. 61804174 （）
No. 61604172) （）
