安徽工程大学学报2021，Vol.36Issue(4)：23-26,40,5.
弯月面法涂覆SiO2溶胶凝胶增透膜厚度与均匀性研究
Study on Thickness and Uniformity of Anti-reflective Film of Silica Sol-gel Coated by Meniscus Method
摘要
关键词
弯月面涂覆/薄膜干涉/SiO2溶胶凝胶增透膜/涂覆速率/倾斜角度分类
数理科学引用本文复制引用
王铭,郑衍畅,史宁,王海..弯月面法涂覆SiO2溶胶凝胶增透膜厚度与均匀性研究[J].安徽工程大学学报,2021,36(4):23-26,40,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11705001) （11705001）
安徽省自然科学基金资助项目(1808085QA12) （1808085QA12）
