材料科学与工程学报2021，Vol.39Issue(5)：716-720,796,6.DOI:10.14136/j.cnki.issn.1673-2812.2021.05.002
基于MEMS工艺的电学TEM芯片研发与应用
Design and application of an In-situ Electrical TEM Chip Based on MEMS (Micro Electromechanical System ) Technology
孙扬 1金传洪1
作者信息
- 1. 浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027
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摘要
关键词
原位透射电子显微学/四电极电学芯片/MEMS工艺/I-V曲线分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙扬,金传洪..基于MEMS工艺的电学TEM芯片研发与应用[J].材料科学与工程学报,2021,39(5):716-720,796,6.
