飞控与探测2021，Vol.4Issue(5)：9-20,12.
面外轴向检测MEMS加速度计研究现状
Research Status of Out-of-Plane Axial Detection MEMS Accelerometer
摘要
关键词
微机电系统/面外加速度计/Z轴加速度计/三轴加速度计/研究现状分类
交通工程引用本文复制引用
马智康,刘国文,李兆涵,刘福民,徐宇新..面外轴向检测MEMS加速度计研究现状[J].飞控与探测,2021,4(5):9-20,12.基金项目
国家重点研发计划课题(2016YFB0501300,2016YFB0501303) （2016YFB0501300,2016YFB0501303）
