光学精密工程2021，Vol.29Issue(10)：2287-2295,9.DOI:10.37188/OPE.20212910.2287
后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量
Detecting divided aperture laser differential confocal radius measurement
摘要
关键词
激光测量/分光瞳/曲率半径/虚拟针孔/差动共焦/单路离轴探测分类
机械制造引用本文复制引用
李彦宏,杨帅,唐顺,赵维谦,邱丽荣..后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量[J].光学精密工程,2021,29(10):2287-2295,9.基金项目
国家重点研发计划项目资助(No.2017YFA0701203) （No.2017YFA0701203）
