光学精密工程2021，Vol.29Issue(10)：2400-2411,12.DOI:10.37188/OPE.2021.0099
柔性扫描平台最优阶多项式速度曲线控制
Optimal order polynomial motion profile for high-precision flexible scanning platform
摘要
关键词
速度曲线/残余振动/稳态时间/柔性扫描平台/S曲线分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李龙辉,张芷齐,郭振,罗媛媛,周连群,姚佳..柔性扫描平台最优阶多项式速度曲线控制[J].光学精密工程,2021,29(10):2400-2411,12.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011003) （No.2018YFF01011003）
国家自然科学基金青年基金项目(No.61874133,No.61901469,No.22005331) （No.61874133,No.61901469,No.22005331）
江苏省重点研究开发项目(No.BE2019684,No.BE2018080,No.BE2020768) （No.BE2019684,No.BE2018080,No.BE2020768）
江苏省政策引导类计划(No.BZ2019069) （No.BZ2019069）
季华实验室资助项目(No.X190181TD190) （No.X190181TD190）
中科院青年创新促进会资助项目(No.2019322,No.2018360,No.201856) （No.2019322,No.2018360,No.201856）
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20200046,No.YJKYYQ20190057) （No.YJKYYQ20200046,No.YJKYYQ20190057）
中国科学院重大科研仪器研制项目(No.ZD?KYYQ20210004) （No.ZD?KYYQ20210004）
苏州市科技支撑计划资助项目(No.SYG201907) （No.SYG201907）
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所自主部署项目(No.Y851591105,No.E055011301) （No.Y851591105,No.E055011301）
